Lorsqu'un électricien veut chimiste ou pour modifier les propriétés chimiques et physiques de la surface d'une plaquette de circuit intégré, il est connu que le traitement au plasma. Une forme de ce traitement est appelé gravure par plasma, qui utilise une décharge luminescente (connu sous le nom de plasma) à partir d'un gaz spécifique. La décharge est libérée sous forme d'impulsions dans un flux à grande vitesse directement sur un circuit d'échantillon. La source du plasma, connu sous le nom d'espèces de gravure, peut prendre l'une des deux caractéristiques - charge, qui sont classés comme des ions ou neutre, qui est constitué d'atomes et radicaux. Comme le début du traitement d'attaque chimique, la décharge étant diffusée sur le circuit va créer des résidus d'attaque chimique volatil par suite de la réaction chimique entre le matériau gravé et l'espèce d'attaque chimique créée par le plasma. Les propriétés physiques et chimiques du circuit sont éventuellement modifiées comme les atomes dans le courant de plasma se fixent ou pénètrent dans la surface. Selon le gaz qui est utilisé pour le courant de plasma, d'un polymère de gravure par plasma peut se former sous forme de résidu après le processus.
Instructions
1 un polymère de gravure par plasma sera probablement formé après le traitement par plasma d'attaque chimique avec des gaz à base de fluorocarbone tels que hydrotrifluoride de carbone et de l'octafluoropropane. Ces gaz créent des composés insaturés présents dans le plasma qui sont ensuite transférés aux plaquettes de circuits intégrés. Ceux-ci doivent être enlevés pour que le traitement ultérieur du plasma pour continuer.
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Plasma décapant de polymère de gravure, connu sous le nom PRX-127, est un composé chimique composé d'éléments d'éther, sulfoxyde et de l'hydroxyde, et est extrêmement dangereux de respirer ou le toucher. Il est recommandé que, avant d'essayer d'utiliser ce produit, des gants, des lunettes et un masque doit être porté. Un procédé d'immersion humide banc est un des moyens plus sûrs pour traiter ce composé, et nécessite très peu d'interaction physique.
3 Remplir deux réservoirs de décapage qui sont conçus spécifiquement pour un procédé par voie humide banc avec la solution PRX-127 et porter à une température de 70 à 90 degrés Celsius. Placer les tranches de circuits touchés avec précaution dans l'un des réservoirs en utilisant des gants de protection. Les tranches doivent rester dans la solution pendant au moins cinq minutes, mais pas plus de 20 minutes pour un effet optimal. Une méthode d'agitation mécanique ou à base sonore est recommandée pendant le premier bain.
4 Transférer les plaquettes de la première cuve d'extraction à la seconde fois le cycle de bain est terminée, et laisser tremper les plaquettes pendant encore cinq à 20 minutes sans agitation supplémentaire. Ce second bain va enlever les couches existantes de polymère en dessous du résidu sur la surface de la plaquette.
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Retirez les tranches de la solution PRX-127 et de les transférer à un troisième réservoir rempli de SVC-300 rinçage, une solution qui est utilisé principalement pour l'enlèvement de la peinture. Il est tout à fait sûr à utiliser car il est non toxique et ininflammable et ne sera pas endommager les plaquettes. Les tranches doivent rester dans cette solution pendant deux à trois minutes. Transférer les tranches dans une solution finale - eau déminéralisée - à l'intérieur d'une cuve de rinçage pendant six à huit cycles, puis utiliser un sèche-linge ou spin-rinçage sèche pour éliminer toute trace de la solution. Les tranches doivent être complètement libre de polymères, et sont maintenant en sécurité pour être utilisé à nouveau pour plus au traitement au plasma gravé.
Conseils et avertissements
- La peinture-remover se détendre après les PRX-127 bains est facultative. Dans la plupart des cas, les polymères seront complètement éliminés, mais cette étape supplémentaire enlève une grande partie des contaminants nocifs de la solution PRX-127 avant un rinçage final.
- Soyez extrêmement prudent avec PRX-127. Il est une solution inflammable très volatile et en aucun cas ne doit être manipulé sans matériel et des vêtements de sécurité.