Atomes se composent d'un noyau chargé positivement entouré d'un nuage d'électrons chargés négativement. Parfois, les atomes peuvent gagner ou perdre des électrons, ce qui conduit à les acquérir une charge nette positive ou négative. Un atome avec une charge nette est connu comme un ion. Plasma est un nuage d'ions, et ceux-ci peuvent avoir un certain nombre d'utilisations dans l'industrie de transformation semi-conducteur. Un plasma peut être produit à l'intérieur d'une chambre à vide remplie d'argon à l'aide d'une source d'alimentation qui génère des fréquences radio (RF).
Instructions
1 Allumez la pompe rotative et attendez que la pression pour arriver à 10 ^ -3 millibars. Mettez la pompe turbo, et attendez qu'il rampe vers le haut. Attendez jusqu'à une pression d'environ 10 ^ -6 millibars est atteinte.
2 Connectez un câble RF entre l'unité d'adaptation RF et de puissance RF alimentation. Connecter un autre câble entre l'unité d'adaptation RF, et la douille d'électrode de la chambre à vide RF.
3 fermer partiellement la vanne à la pompe turbo. Mettez le régulateur de débit massique Argon, et mettre une pression de 15 millibars. Mettez le bloc d'alimentation et d'appariement RF. Définir un attaquant de puissance de 50 Watts. L'unité d'adaptation est entendue comme il essaie de minimiser la puissance RF réfléchie. Lorsque la puissance réfléchie est inférieure à 1 pour cent de la puissance vers l'avant, augmenter la puissance de l'avant à environ 150 Watts. Le plasma dans la chambre doit allumer, et être visible si la chambre vue port. Lentement diminuer la puissance directe retour à 50 Watts. Le couple RF plasma est créé.